SE-i 光譜橢偏儀

簡要描述：紅外橢偏儀,SE-i光譜橢偏儀針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數、透射/反射率等參數的測量，橢偏測量頭快速實現(xiàn)光學薄膜原位表征分析

產品型號：更新時間：2024-07-04 瀏覽次數：1128

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一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍

膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化

開發(fā)，快速實現(xiàn)光學薄膜原位表征分析。

二、測試案例

捕獲.PNG

成膜工藝監(jiān)控

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膜厚表征

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三、產品應用

廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積，ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數據。

技術參數

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專業(yè)從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發(fā)、制造與銷售的高新技術企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學測量經驗的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學緊密合作，是國內橢偏光學儀器領域頗具優(yōu)勢的技術團隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向全球，為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。

產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學、電化學、光學鍍膜、光刻材料等眾多領域。

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